仪器型号：JS4S-80D

生产商：北京金盛微纳

应用范围：

    本设备仅有一个腔室，腔内配有4个靶位，采用DC/RF两种电源，靶材尺寸为直径80mm*6mm的圆靶材，样品尺寸直径小于4inch，样品台可连续公转。主要用于溅射各种金属及氧化物膜层。（备注：本实验室有各种金属及氧化物靶材供选择溅射）